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1月前

一旦“马奇诺防线”被绕过，前边就剩无血开城的巴黎了。

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马奇诺防线

一战之后，法国的确是被德国打怕了。整整一代年轻男性化为炮灰，长期的女多男少，导致easy girl 泛滥，以至于我们现在法国“浪漫”的形象，泰半是当年法国女性“不挑食”门槛低加深而来的。

一战之后，德国的工业和人口依旧压倒法国，丧失了跟德国打拉开阵势打野战的法国，逼得不行了才搞了个马奇诺防线。后边的事情大家都知道了。

2018年贸易战打了四年之后，美国人也打怕了。贸易战越打，美国的逆差越打越高，中国占全球出口量的比例却没有下降，中国制造只是变成了“阳澄湖螃蟹”，从直接到美国变成墨西哥洗澡蟹，转一圈曲线入美，结果就是原本从美国赚到的顺差，变成从墨西哥拿顺差，中国产品一点没少出口，只不过贴了个墨西哥的标签，除了比之前更贵，什么也没改变。

跟法国面对德国差不多的窘境，被市场竞争打怕了的美国，现在工业品已经丧失了跟中国拉开打堂堂之阵的野战能力，逼得不行了，只能搞个类似的“马奇诺防线”。

美国这条马奇诺防线，就是EUV光刻机为核心的芯片制造防线。美国人在这条防线上，以EUV光刻机为核心，布置了几乎所有目前手上的政治和外交资源。

跟马奇诺防线一样，这条防线的正面，似乎的确坚不可摧。但防线一旦被突破，后边就是长驱直入进巴黎，再无任何像样的抵抗了。美国目前真正能对中国产业有足够制约力的，除了EUV光刻机，真的拿不出第二样有一战之力的主要工业品了。

历史虽然不会重复，但总是押着相同的韵脚。美国这条押上一切的光刻机马奇诺防线，跟法国二战那条一样，又被绕过了。

绕过防线

最近炸裂的新闻太多，把彭博社的一篇本应该炸裂的新闻给掩盖住了。

可这条新闻，比伊朗这种国家飞升几个二把手，重要的多：路透社报道，中国已经找到了绕过EUV光刻机，制造5纳米芯片的办法。

根据路透社报道中芯国际已经找到一个良率尚可的技术路线，使用尚未被美国列入制裁的DUV光刻机，进行5纳米级别的芯片制造。根据《韩国经济日报》的报道，中芯已经完成了DUV制造5纳米级别芯片的准备工作，即将投入量产，第一个客户就是某为。

正如路透所说的，一旦可以用DUV量产5纳米芯片，将是一个决定性的突破，因为一般认为DUV极限只能制造7纳米级别的芯片，落后当前最领先的3纳米级别芯片两代，而且工序增加造成良率很差，几乎没有成本竞争力。但一旦中国可以使用存量巨大的DUV光刻机制造只落后3纳米一代的5纳米级别芯片，那么中国的“半导体独立”几乎成功。

最近海思申请的两个专利似乎也验证了DUV实现5nm芯片制造的传闻。首先是海思的自对齐七重曝光（SASP）WIPO 专利已经申请，申请号为 CN2022/097621。该专利的详细信息刚刚发表在 2024 年SPIE 高级光刻及图案化会议论文集中的题为“基于芯轴/间隔件工程的图案化和金属化结合金属层分割和严格自对准通孔和切割（SAVC）”的论文中披露。

其中自对齐七重曝光（SASP，用一次光刻掩膜进行七次曝光和刻蚀)专利,类似于英特尔DUV 7纳米工艺的究极魔改版。可以将金属间距降低至 28纳米，并包含自对准通孔和切口。

海思申请的另一个专利类似台积电5纳米及更高制程芯片中经常使用的多次光刻曝光和刻蚀工艺，也就是所谓 4 倍 SALELE 工艺(CN 117751427 A: 自对准四重图案化半导体装置的制作方法以及半导体装置)。

这两个专利下，可是在套刻误差小于5纳米的情况下，达到金属间距28纳米的水平，目前台积电所谓3纳米芯片实际金属间距23纳米，2纳米芯片金属间距16纳米，28纳米间距对应5纳米级别芯片，比intel的4纳米工艺更强（金属间距为30纳米，英特尔的4nm就是炒概念）

这种一次光刻掩膜多重曝光的方法，加上中国保有的世界最大规模的DUV机群，再加上已经逐步突破的DUV本地化维护保养和辅料供应。路透社所说的“半导体独立”，并非言过其实。

但是通过大力砖飞的自对准七重成像，比7-10纳米级别的SAQP四重曝光工序更加繁杂，外媒估计，中芯国际的 5 纳米芯片价格将比台积电在相同光刻工艺下的芯片价格高出 50%，但根据DUV和EUV理论工作效率来说，差距似乎并没有那么大。

ASML下一代0.55NA的EUV光刻机优势区间在2nm以下，这代0.33NA光刻机优势区间是2-5nm，而DUV理论上的确可以做到5nm，但工艺复杂度飙升。目前国产自研EUV的规格是0.4NA，在这代与下代ASML EUV之间。

但无论如何，DUV制造5纳米芯片，解决了0-1的问题，只要解决了有和无得问题，后边就好办了。

当年麒麟被打掉，高通的骁龙马上价格翻倍。有没有是核心问题，只要有了，哪怕用得少，很多事情都好谈了。

就好比是原子弹，哪怕你的是5000万吨级的沙皇炸弹，我的是200万吨级的小快递，只要有了，就是众生平等。

可以说，DUV造5纳米的产线一旦量产成功，就是美国新版“马奇诺防线”崩溃之时。

毕竟美国人也知道，除了半导体，美国人还剩什么能打赢中国的制造业？

美联社最近发了一个视频，标题是“便宜的海鸥电动车让美国汽车制造商和政客们吓得瑟瑟发抖”。大概意思就是美国汽车行业的砖家从中国运了一辆价格1万美元的比亚迪的海鸥进来，然后各种试开和测试，结论是里面包括了一些所有美国汽车厂家想做但是做不出来的功能，这还是仅仅1万美元的A级车，在三十万级别卷出天际的华为、理想、蔚来等等还没加入战团，能不Trembling with fear 嘛。