事关DRAM，SK海力士宣布！

2月前

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来源：内容编译自Tomshardware。

与制造逻辑芯片的工艺技术一样，随着晶体管尺寸越来越小，DRAM IC 也需要使用 EUV 光刻技术。如今，三星和 SK 海力士在几层芯片上使用 EUV，成本高昂。据 The Elec 报道，SK 海力士的一位研究人员在一次行业会议上表示，为了大幅降低 EUV 成本，DRAM 制造商必须采用三维晶体管和新的 DRAM结构。

DRAM 制造商不断努力使其存储单元尽可能小，并使 IC 尽可能小，以更具竞争力。为此，他们通常采用新的工艺技术，并每隔十年左右采用一次新的 DRAM 单元结构。例如，当今的 DRAM 使用 6F^2 (6F2) 单元设计，该设计已经使用 FinFET 三维晶体管十多年；DRAM 一直使用普通晶体管，主要是因为每个新工艺节点都引入了缩小 DRAM 单元的新方法，而这正是存储制造商所需要的。

但 SK 海力士研究员 Seo Jae Wook 在一次行业活动上表示，使用 EUV 保留 6F^2 单元和普通晶体管似乎并不像曾经想象的那么有效。他说，使用垂直通道晶体管 (VCT) 或 3D DRAM，“该工艺可以设计成将 EUV 工艺的成本降低一半。”

与此同时，The Elec 称，SK 海力士正准备将 VCT 和 4F^2 (4F2) 单元设计结合起来，制造超高密度 DRAM（可以说是一个冒险但雄心勃勃的举措）。然而，这家内存制造商尚未公开确认此类计划。因此，当 SK 海力士几年后开始更广泛地使用 EUV 时，它将同时拥有 VCT（例如 FinFET 甚至全栅晶体管）和 4F^2 单元结构的经验。后者有望在同一节点上将 DRAM 密度降低 30%，而 6F^2 则不行。

晶圆厂工具制造商东京电子 (Tokyo Electron) 预计，使用垂直通道晶体管 (VCT) 和 4F^2 单元设计的 DRAM 将在 2027 年至 2028 年左右开始出现。该公司还预计，为了生产这些基于 VCT 的 DRAM，内存制造商将需要采用新的电容器和位线材料。

据报道，SK 海力士和三星计划在其 10nm 以下工艺技术中应用 4F^2 单元设计，但细节很少。三星的第一代 10nm 以下 DRAM 制造工艺仍需两代时间。目前，三星最先进的 DRAM 生产节点是其第五代 10nm 级（12nm）技术，该技术于 2023 年中期开始使用。根据今年早些时候泄露的一份幻灯片，三星计划在推出第一代 10nm 以下节点之前再开发两种 10nm 级制造工艺，该节点预计将在本世纪下半叶首次亮相。

除了使用 EUV、4F^2 单元设计和 VCT 晶体管外，三星还计划在 2030 年代初实施堆叠 DRAM 工艺技术，这将在未来十年进一步提高其存储设备的密度。

参考链接

https://www.tomshardware.com/pc-components/dram/sk-hynix-says-its-3d-dram-is-half-as-expensive-to-produce-credits-euv-chipmaking-tools

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