广州的重大突破！中国首台！打破100%进口依赖

透射电镜具有极高的行业垄断性与技术门槛，国外等知名品牌企业占据着全球透射电镜市场的主要份额。此前，我国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。

TH-F120产品外观图。受访单位供图

此次推出的首款透射电镜新品TH-F120， 拥有自主研制的高亮度场发射电子枪，相比于同级进口产品的热发射电子枪，亮度更高，发射稳定性和相干性更优，匹配自主研制的电磁透镜系统，针对120kV成像平台特别优化电子光学设计，可为用户带来更佳的图像衬度和分辨率。自主研制的高稳定性低纹波高压电源，实现了高压自动控制，保证电子枪稳定发射。同时，标配自主研制的高像素CMOS相机，在低电子剂量的工况下仍可呈现丰富的样品细节。

该透射电镜将为我国在材料科学、生命科学、半导体工业等前沿科学及工业领域的高质量发展提供有力支撑。

美国的赛默飞世尔（Thermofisher）等知名世界品牌企业占据着全球透射电镜市场的主要份额。此前，我国透射电镜100%依赖进口，国产化尚属空白。在此情况下，由生物岛实验室徐涛院士、孙飞研究员联合中国科学院生物物理所在2016年启动透射电镜有关研究，并于2020年在生物岛实验室组建一支体系完整的透射电镜研制工程技术团队。

“我们集合了包括科学家、工程师在内的各方面人才，在生物岛实验室前期自主自立项目的支持下，完成了团队的建设。然后进一步得到了国家自然科学基金委、科技部、广东省科技厅、广州市科技局的大力支持，相关研发工作不断取得重大突破。”孙飞说。

120千伏场发射电子枪、120千伏低纹波高压电源、400万像素和1600万像素棱镜耦合CMOS电子探测相机、100万杂合像素直接电子探测相机等透射电镜核心关键部件相继研制成功。为了进一步推动透射电镜的产业化，生物岛实验室与国内领先的科学仪器公司国仪量子联合成立广州慧炬科技有限公司，致力于透射电镜技术的商业化应用。

广州慧炬科技有限公司总经理曹峰介绍说，本次发布的120千伏场发射透射电镜是一款可以实现原子级分辨率的高端显微放大设备，其信息分辨率达到了0.2纳米，可以看到大多数晶体的排列结构。

“但这还只是我们的第一代入门产品。”曹峰透露，电镜电压越高意味着电子能量越高，就具有更高的穿透能力。因此，团队正计划研制200千伏场发射透射电镜。

来源：科技日报、金羊网