行业观察｜微导纳米2023年净利润增长849.89%，平台化战略赋能多元发展

2024年4月28日，微导纳米公布2023年报及2024年一季报。2023年全年，公司实现营业收入16.80亿元，同比增长145.39%。实现归母净利润2.70亿元，同比增长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳米营业收入达1.71亿元，同比增长125.27%；归母净利润达357.34万元，相比去年同期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速增长态势。

微导纳米是一家面向全球的半导体、泛半导体高端微纳装备制造商。公司形成了以原子层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次发展的技术平台体系，专注于先进微米级、纳米级薄膜设备的研发、生产与销售，向下游客户提供高端薄膜设备、配套产品及服务。

ALD以其自限制性的特点，具备薄膜控制精确度高和台阶覆盖率高的优势，特别适合在对薄膜质量要求高和衬底结构复杂的应用。CVD则以其高沉积速率和广泛的应用而著称。微导纳米坚持以ALD为核心，CVD等多种真空薄膜技术梯次发展技术平台体系，凭借前瞻性战略布局，微导纳米开发的薄膜沉积技术及设备，目前已广泛运用于半导体、光伏及其他新兴应用领域，并取得亮眼表现。

在半导体领域，公司产品涵盖逻辑、存储、化合物半导体、新型显示等诸多细分应用领域。在光伏领域，公司ALD设备的市场占有率保持领先，实现了对TOPCon产线真空类设备的全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙钛矿叠层等电池技术领域均有产品储备、布局和出货。在新兴应用领域，2023年，微导纳米已在光学、柔性电子、车规级芯片等几个更具市场潜力的薄膜沉积技术应用前沿领域屡次获得客户订单。

微导纳米公司正积极布局多个前沿科技领域，包括半导体、光伏以及其他新兴领域，以实现其业务的多元化和全面发展。公司以ALD+CVD的平台化发展战略，为公司在不同领域内的创新应用提供坚实基础。

在半导体领域，微导纳米是国内首家成功将量产型 High-k 原子层沉积(ALD)设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商。同时，2023年7月，微导纳米首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货至客户端，旨在通过差异化策略开发出市场亟需的高端设备，解决关键工艺的市场空白。

根据SEMI行业统计，ALD约占半导体镀膜板块的11~13%市场份额，未来几年将保持高速增长，复合增长率高达26.3%；CVD约占半导体镀膜板块的57%市场份额，未来几年的复合增长率约为8.9%。

目前，微导纳米已经开发工艺包括HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D DRAM、TSV技术等，覆盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等薄膜材料。

在光伏领域，2023年11月，微导纳米自主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用ALD量产设备，顺利获海外客户验收。2024年3月，微导纳米成功研发出适用于大面积百兆瓦钙钛矿电池生产的专用量产型原子层沉积(ALD)设备，并已顺利发货至业内领军企业。

值得一提的是，报告期内，微导纳米新增立项多项新兴产业应用项目，分布于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能源等细分应用领域镀膜环节。截至目前，微导纳米自主研发的柔性电子二代机、应用于车规级芯片ALD设备以及光学领域镀膜设备已顺利发货，其中车规级芯片ALD设备出口海外。2024年1月，微导纳米创新研发的ALD量产设备顺利发往欧洲某头部芯片封装客户，实现国产高端设备出口海外。

图：薄膜沉积技术在部分领域的应用场景

近年来，微导纳米以ALD技术为核心的薄膜沉积技术领域形成了多项核心技术和科技成果，并成功将其应用于主营业务，实现了科技成果与产业的深度融合。与此同时，微导纳米始终坚持自主创新、持续加大研发投入，持续探索技术边界，积极应对市场需求的变化，不断拓宽并深化在产业前瞻领域的技术应用，力求实现更广泛的技术创新与产业融合。

2023年，微导纳米研发投入3.08亿元，占营业收入比例达18.34%，其中约50%投向半导体领域，包括逻辑、存储、新型显示器、化合物半导体等项目；光伏领域研发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术等项目。研发队伍人员不断增加，研发人员达到429人，同比增长78.01%。

得益于公司对研发的重视及在研发投入上的不断加码，2023年，微导纳米新增各类专利申请146项，累计授权专利137项，逐步形成了薄膜沉积反应器设计技术、基于原子层沉积的高效电池技术、柔性材料制备技术、薄膜封装技术等十大核心技术。

通过ALD+CVD的平台化战略，微导纳米能够在半导体、光伏以及其他新兴领域实现技术的广泛应用。跨领域的应用能力，使其充分利用不同领域的市场需求和技术特点，实现技术的快速迭代和升级。同时，在技术协同效应进一步显现下，微导纳米通过跨行业的多元业务战略布局，拥有了较强的穿越行业周期的能力，公司的抗风险能力得到进一步提升。

微导纳米凭借平台化战略，为客户提供更加全面和高效的解决方案，满足多样化的市场需求。差异化竞争策略不仅助力微导纳米在市场上树立独特的品牌形象，也显著增强其在业内竞争力。在当前科技革命中，微导纳米将积极拥抱变化，不断探索和引入前沿技术，积极构建开放的创新生态体系。未来，随着其他新兴技术市场的蓬勃发展，微导纳米作为平台型的关键设备供应商的优势将进一步显现。